氟化硫分子式SF6； CAS号：2551-62-4
物化性质：
熔点 -50.5℃
升华温度 -63.7℃
液体密度 1880kg/m3（-50.8℃）
临界温度 45.5℃
临界压力 3759KPa
临界密度 736kg/m3
在常温常压下为无色无臭无毒的气体。不燃烧。对热稳定，化学性质不活泼。在500℃以上赤热状态下也不分解，在800℃以下很稳定。在250℃时与金属钠反应。没有腐蚀性，可以用通用材料，不腐蚀玻璃。电绝缘性能和消弧性能好，绝缘性能为空气的2-3倍，灭弧能力为空气的100倍。而且气体压力越大，绝缘性能越增高。药物学性质不活泼。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比水中多一些。不溶于***和氨。
应用：
电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的绝缘气体，制冷剂，示踪装置，医疗，半导体制造中的蚀刻、化学汽相淀积、标准气体、检漏气体，色谱仪的载气。