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| 产品名称：四氟化碳 |
| CAS 号：75-73-0 |
四氟化碳又称四氟甲烷，氟利昂14；
分子式CF4；
物化性质：
| 熔点 |
-183.6℃ |
| 沸点 |
-128.1℃ |
| 液体密度 |
（-130℃）1.613g/cm3 |
| 临界温度 |
-45.67℃ |
| 临界压力 |
3.73MPa |
| 临界密度 |
7.1dm3/mol |
在常温下，四氟化碳是无色、无臭、易压缩性气体，具有很高的稳定性，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水。属于完全不燃性气体。
应用：
四氟化碳可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、航天技术、金属冶炼、气相绝缘、低温制冷等诸多方面大量使用。
山东锐华氟业产品质量指标：
CF4产品质量标准
| 项目 |
指 标 |
| CF4， ％（V/V）≥ |
99.999 |
99.995 |
99.99 |
| N2， 10-6(V/V) ≤ |
4 |
20 |
40 |
| O2， 10-6(V/V) ≤ |
1 |
5 |
10 |
| CO2， 10-6(V/V) ≤ |
1 |
5 |
10 |
| CO， 10-6(V/V) ≤ |
0.3 |
0.5 |
1 |
| SF6， 10-6(V/V) ≤ |
1 |
1 |
5 |
| H2O， 10-6(V/V) ≤ |
1 |
5 |
10 |
| HF， 10-6(V/V) ≤ |
0.1 |
0.3 |
0.3 |
| TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8)，10-6(V/V) ≤ |
1 |
10 |
30 |
| 总杂质含量 ppm (V/V) ≤ |
10 |
50 |
100 |
产品采用钢质无缝气瓶多种规格系列化包装，满足不同用户需求。
| 钢瓶规格 |
DOT/48.8 L |
DOT/47L |
40L |
10L |
4L |
| 瓶阀型号 |
CGA580（正丝） CGA590（反丝） CGA320 DISS716 |
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